中国科学院长春光学精密机械与物理研究所王玉坤获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利基于多参数耦合约束模型的LC-SLM选型与性能评估方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121163414B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511698591.9,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权基于多参数耦合约束模型的LC-SLM选型与性能评估方法是由王玉坤;王孝坤;刘斌;周承辰;王大成;聂久程;刘忠凯;薛栋林;张学军设计研发完成,并于2025-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于多参数耦合约束模型的LC-SLM选型与性能评估方法在说明书摘要公布了:本发明涉及精密光学检测领域,尤其涉及一种基于多参数耦合约束模型的LC‑SLM选型与性能评估方法,包括确定基于LC‑SLM构成的检测系统的输入变量,该输入变量分为待测面参数和检测系统的基本要求参数两大类;基于闪耀光栅的衍射效率需求确定闪耀光栅的阶数;基于检测系统的精度需求确定LC‑SLM的位深;基于LC‑SLM的波前调制需求确定像素参数;建立检测系统的综合误差评估模型,计算总残余误差,总残余误差为量化误差、像素离散误差、LC‑SLM面形误差、非线性误差及热致相位漂移误差的和的平方根。本发明能够实现对LC‑SLM的硬件参数选型、软件配置及其最终补偿性能进行系统化、定量化的设计与评估。
本发明授权基于多参数耦合约束模型的LC-SLM选型与性能评估方法在权利要求书中公布了:1.一种基于多参数耦合约束模型的LC-SLM选型与性能评估方法,其特征在于,包括如下步骤: S1:确定基于LC-SLM构成的检测系统的输入变量,该输入变量分为待测面参数和检测系统的基本要求参数,待测面参数包括待测曲面的最大面型偏差和最大局部空间斜率,检测系统的基本要求参数包括工作波长λ、目标检测精度、检测系统所需的LC-SLM最小一级衍射效率和环境温度波动; S2:基于闪耀光栅的衍射效率需求确定闪耀光栅的阶数k,闪耀光栅的衍射效率需求以检测系统所需的LC-SLM最小一级衍射效率为约束,筛选衍射效率满足的最小k值; S3:基于检测系统的精度需求确定LC-SLM的位深n,检测系统的精度需求以检测系统的目标检测精度为约束,通过位深与量化误差的关联关系,筛选满足的位深n; S4:基于LC-SLM的波前调制需求确定像素参数,像素参数包括像素数量N和像素尺寸p,分别通过调制范围要求和调制梯度要求筛选满足条件的N和p,基于闪耀光栅的阶数k、位深n、像素数量N和像素尺寸p建立多参数耦合约束模型; S5:建立检测系统的综合误差评估模型,计算总残余误差,总残余误差为量化误差、像素离散误差、LC-SLM面形误差、非线性误差及热致相位漂移误差的和的平方根: 。
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