浙江大学潘玉瑶获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种基于激光外差干涉仪的摆片动态性能测试装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121164677B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511716265.6,技术领域涉及:G01P21/00;该发明授权一种基于激光外差干涉仪的摆片动态性能测试装置及方法是由潘玉瑶;李楠;于湘涛;刘承;陈杏藩;胡慧珠设计研发完成,并于2025-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于激光外差干涉仪的摆片动态性能测试装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于激光外差干涉仪的摆片动态性能测试装置及方法。本发明的摆片驱动模块通过压电陶瓷向夹持工装和待测摆片施加幅值、频率可调的动态加速度信号;接着,通过外差干涉测量光路同时检测夹持工装和待测摆片的动态位移响应;然后,通过信号采集系统获得压电陶瓷驱动下待测摆片的理论位移信号及夹持工装和待测摆片的实际位移信号;最后,通过终端计算机进行信号处理和数据比较,得到待测摆片在带宽和量程内外加激励下的动态响应特性。本发明的装置简单可靠,测量范围广,测试精度极高,抗电磁干扰能力强。
本发明授权一种基于激光外差干涉仪的摆片动态性能测试装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种基于激光外差干涉仪的摆片动态性能测试装置,其特征在于,包括: 夹持工装7,用于安装待测摆片8; 摆片驱动模块,用于放置安装有待测摆片8的夹持工装7并基于驱动信号驱动该夹持工装7以及待测摆片8同时运动; 外差干涉测量光路10,用于生成两个测量光束并将两个测量光束分别作用于夹持工装7和待测摆片8后产生对应的反射光束,采集夹持工装7和待测摆片8的反射光束后生成两个拍频信号; 信号处理模块,用于根据摆片驱动模块的驱动信号以及两个拍频信号生成待测摆片8的动态响应特性。
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