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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利温度测量方法及其模块、红外测温仪、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121230880B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511803040.4，技术领域涉及：G01J5/00；该发明授权温度测量方法及其模块、红外测温仪、设备及存储介质是由刘新阳;张黎明设计研发完成，并于2025-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本温度测量方法及其模块、红外测温仪、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请提供了一种温度测量方法及其模块、红外测温仪、设备及存储介质，在开启阶段和关闭阶段分别获取参考信号和目标信号，对其进行差分处理，再从差分信号中提取波动信息，将波动信息作为噪声预测模型的输入进行自适应建模和预测，并通过权重向量的在线更新使预测噪声逐渐逼近真实目标噪声，再将目标噪声从关闭阶段的目标信号中抵消。本申请的参考光信号与目标光信号在外延生长设备中采用同一光学通道，使得噪声预测模型能够对实际噪声进行精准建模与预测，在显著抑制噪声后明显提升了信噪比和有效温度分辨率；此外，本申请在抑制噪声的同时，还完整保留了目标信号中的动态特征，不会影响系统响应速度，适用于实时高精度的温度监测场景。

本发明授权温度测量方法及其模块、红外测温仪、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种温度测量方法，其特征在于，适用于半导体外延生长设备的原位监测系统，所述原位监测系统包括红外测温仪，所述红外测温仪包括参考源模块和目标源模块，所述参考源模块周期性输出方波调制信号，使参考红外光源在每个调制周期内交替处于开启阶段和关闭阶段；所述方法包括: 获取所述开启阶段和所述关闭阶段的参考信号，计算两者的差值得到第一差分信号； 获取所述开启阶段和所述关闭阶段的目标信号，计算两者的差值得到第二差分信号；其中，所述参考信号是所述参考源模块基于晶圆表面反射光信号生成的，所述目标信号是所述目标源模块基于晶圆表面反射光信号生成的，且所述目标信号包括所述参考信号分光得到的信号分量； 分别提取所述第一差分信号和所述第二差分信号中的波动信息，得到第一波动信号和第二波动信号； 将所述第一波动信号和所述第二波动信号作为噪声预测模型的输入，得到预测噪声；根据所述预测噪声，自适应更新所述噪声预测模型的权重向量，使所述预测噪声逐渐逼近至目标噪声； 计算所述关闭阶段的目标信号和所述目标噪声的差值，并根据该差值计算目标温度；其中，所述目标温度和所述目标信号呈对应关系。

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