买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海良薇机电工程有限公司申请的专利一种多种大流量气体的混合系统及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223846842U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423323061.X，技术领域涉及：B01F35/83；该实用新型一种多种大流量气体的混合系统及半导体工艺设备是由何强军;纪雪峰设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多种大流量气体的混合系统及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种多种大流量气体的混合系统及半导体工艺设备，包括。其优点在于，通过将第一气体输入模块与多个第一流量控制模块连通、第二气体输入模块与多个第二流量控制模块连通，使用多个第二流量控制模块同时控制流量，提高了流量的控制精度，进而提高了浓度精度；通过将第一混气模块分别与第一流量控制模块、第二流量控制模块连通，通过第一混气模块对第一气体和第二气体进行初混，从而提升整体系统的浓度均匀性；通过将第二混气模块与第一混气模块连通，在将初混得到的第二混合气体进行精混，进一步提升气体混合的浓度均匀性。

本实用新型一种多种大流量气体的混合系统及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种多种大流量气体的混合系统，其特征在于，包括： 第一气体输入模块，所述第一气体输入模块与第一气源连通，用于输送第一气体； 第二气体输入模块，所述第二气体输入模块与第二气源连通，用于输送第二气体； 至少一第一流量控制模块，所述第一流量控制模块与所述第一气体输入模块连通，并位于所述第一气体输入模块的下游，用于控制第一气体的流量； 至少一第二流量控制模块，所述第二流量控制模块与所述第二气体输入模块连通，并位于所述第二气体输入模块的下游，用于控制第二气体的流量； 第一混气模块，所述第一混气模块分别与所述第一流量控制模块、所述第二流量控制模块连通，并位于所述第一流量控制模块的下游、所述第二流量控制模块的下游，用于将第一气体和第二气体进行初混并得到第一混合气体； 第一浓度分析模块，所述第一浓度分析模块与所述第一混气模块连通，并位于所述第一混气模块的下游，用于检测第一混合气体的浓度； 第二混气模块，所述第二混气模块与所述第一混气模块连通，用于对第一混合气体进行精混并得到第二混合气体； 第二浓度分析模块，所述第二浓度分析模块与所述第二混气模块连通，并位于所述第二混气模块的下游，用于检测第二混合气体的浓度； 第一气体输出模块，所述第一气体输出模块分别与所述第一混气模块、所述第二混气模块、所述第二浓度分析模块、工艺设备连通，并位于所述第二混气模块的下游，用于在所述第二浓度分析模块检测符合标准的情况下向工艺设备输送第二混合气体； 第二气体输出模块，所述第二气体输出模块分别与所述第一浓度分析模块、所述第二浓度分析模块、所述第一气体输出模块、废气处理设备连通，用于输送废气。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海良薇机电工程有限公司，其通讯地址为：201913 上海市崇明区长兴镇江南大道1333弄12号楼3层310室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。