无锡釜川科技股份有限公司王学卫获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡釜川科技股份有限公司申请的专利硅片用分片机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223847110U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422572365.3,技术领域涉及:B03B5/36;该实用新型硅片用分片机构是由王学卫;赵珀;杨佳于设计研发完成,并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本硅片用分片机构在说明书摘要公布了:本申请涉及硅片分片装置技术领域,尤其涉及一种硅片分片机构,该机构靠近清洗池水面设置,包括,架体,以及,传输组件,所述传输组件为皮带传输结构;吸附组件,所述吸附组件用于将硅片吸附在皮带传输结构中皮带的下方,使得硅片在水中随皮带移动;喷头,所述喷头用于朝向硅片之间喷水以实现相邻硅片分离。本申请采用水中分片的方式,利用水的浮力,在水中往水中喷水的方式使硅片分开,防止在吸片时多吸,保证设备可靠性。
本实用新型硅片用分片机构在权利要求书中公布了:1.一种硅片分片机构,该机构靠近清洗池水面设置,其特征在于,包括, 架体1,以及, 传输组件2,所述传输组件2为皮带22传输结构; 吸附组件3,所述吸附组件3用于将硅片吸附在皮带22传输结构中皮带22的下方,使得硅片在水中随皮带22移动; 喷头,所述喷头设置有多个,多个所述喷头分别为前喷头41和侧喷头42,所述前喷头41和侧喷头42从不同方向朝向硅片层间喷水,以实现相邻硅片分离; 所述传输组件2包括主板21、皮带22和电机23,所述主板21固定连接在架体1之间,所述架体1之间转动连接有主轴26,所述电机23连接在架体1上用于驱动主轴26转动,所述主轴26位于主板21的上方,所述主轴26上同轴连接有多个第一滚轮24,所述主板21的前端的两侧和后端的两侧均转动连接第二滚轮25,所述皮带22绕设在第一滚轮24和第二滚轮25上 主板21位于水面之下,皮带22绕过主板21的底部,带动从清洗池中水浮上来的硅片在水中朝向主板21的前端移动。
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