深圳市铂盈天其科技有限公司苏桂鑫获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市铂盈天其科技有限公司申请的专利一种半导体载带除尘装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223847625U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423115204.8,技术领域涉及:B08B3/08;该实用新型一种半导体载带除尘装置是由苏桂鑫设计研发完成,并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体载带除尘装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体制造技术领域,公开了一种半导体载带除尘装置,包括支撑组件,所述支撑组件包括支撑框架,所述支撑框架的顶部固定安装有支撑座,所述支撑框架的顶部固定安装有安装板,所述安装板的内部开设有清洗槽,所述清洗槽的内部固定安装有过滤板。本实用新型通过安装板内部设置的烘干组件,则可以确保在清洗组件完成对载带清洗后,利用风干机将载带表面的水渍进行风干处理,确保载带不会因为化学残留物导致二次污染,通过及时去除载带表面的水渍和可能存在的化学残留物,保证了载带在进入后续半导体生产环节时的纯净度和稳定性,有助于提高半导体生产的良率,减少因载带污染而导致的产品缺陷,从整体上提升半导体生产的质量和效率。
本实用新型一种半导体载带除尘装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体载带除尘装置,包括支撑组件1,所述支撑组件1包括支撑框架101,所述支撑框架101的顶部固定安装有支撑座102,所述支撑框架101的顶部固定安装有安装板103,所述安装板103的内部开设有清洗槽104,所述清洗槽104的内部固定安装有过滤板105,所述安装板103的顶部固定安装有入料盘106,所述入料盘106的内部转动安装有多组辊轮,其特征在于,还包括: 收卷组件2,所述收卷组件2包括第一支撑杆201,所述第一支撑杆201的内部转动安装有收卷辊204; 清洗组件3,所述清洗组件3包括水泵301,所述水泵301的输出端固定安装有输水管302,所述输水管302的前端固定安装有分流管303; 烘干组件4,所述烘干组件4包括风干机401,所述风干机401固定安装于安装板103的内部。
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