安徽万维克林精密装备有限公司周尤获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽万维克林精密装备有限公司申请的专利一种硅片扩散用石英舟清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223847706U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520112016.5，技术领域涉及：B08B9/28；该实用新型一种硅片扩散用石英舟清洗装置是由周尤;班恒生设计研发完成，并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片扩散用石英舟清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型适用于石英舟清洗技术领域，提供了一种硅片扩散用石英舟清洗装置，包括：清洗槽，所述清洗槽上设有清洗区，所述清洗区内部设有用于支撑石英舟的支撑架；清洗架，所述清洗架一端与清洗槽铰接连接，所述清洗架上还设有滑动载台，所述滑动载台上设有喷淋头，当所述清洗架偏转覆盖在清洗槽上时，所述喷淋头延伸进入清洗区中石英舟内部。本实用新型通过偏转方式让喷淋头直接插入石英舟内部，让喷淋水流可以直接作用于石英舟上用于支撑硅片的卡槽，减少由于石英舟自身构造遮挡造成喷淋效果不佳情况。
本实用新型一种硅片扩散用石英舟清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种硅片扩散用石英舟清洗装置，其特征在于，包括： 清洗槽100，所述清洗槽100上设有清洗区110，所述清洗区110内部设有用于支撑石英舟300的支撑架120； 清洗架200，所述清洗架200一端与清洗槽100铰接连接，所述清洗架200上还设有滑动载台210，所述滑动载台210上设有喷淋头220，当所述清洗架200偏转覆盖在清洗槽100上时，所述喷淋头220延伸进入清洗区110中石英舟300内部。
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