浙江晶瑞电子材料有限公司刘小琴获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江晶瑞电子材料有限公司申请的专利碳化硅晶体开槽装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223848353U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520131288.X，技术领域涉及：B23K26/364；该实用新型碳化硅晶体开槽装置是由刘小琴;欧阳鹏根;盛永江;杨水淼;严佩斯;朱文帅设计研发完成，并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本碳化硅晶体开槽装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种碳化硅晶体开槽装置，属于碳化硅晶体加工技术领域，解决了现有技术碳化硅晶体开槽精度欠佳的问题。本申请包括承载台、晶向检测仪以及激光器，所述承载台上形成有承载区，所述承载区用于承载晶体，所述晶向检测仪设置于所述承载台一侧，且所述晶向检测仪具有检测端，所述检测端朝向所述承载区，所述激光器具有发射端，所述发射端朝向所述承载区。本申请通过晶向检测仪的X射线衍射检测，从而检测得到晶体的晶向，确定待开槽的位置，并通过激光器的发射端投射激光至晶体待开槽的区域进行加工，最终完成开槽，晶向检测仪的检测精度以及激光器的切割精度较佳，从而可提高碳化硅晶体的开槽精度。
本实用新型碳化硅晶体开槽装置在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅晶体开槽装置，其特征在于，包括： 承载台100，所述承载台100上形成有承载区M，所述承载区M用于承载晶体； 晶向检测仪200，所述晶向检测仪200设置于所述承载台100一侧，且所述晶向检测仪200具有检测端210，所述检测端210朝向所述承载区M；以及 激光器300，所述激光器300具有发射端310，所述发射端310朝向所述承载区M。
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