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龙图腾网获悉西安龙威半导体有限公司申请的专利一种用于晶圆减薄机承载台的清洗组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223848946U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520454112.8，技术领域涉及：B24B37/04；该实用新型一种用于晶圆减薄机承载台的清洗组件是由郑辉;王鑫;张磊;彭兴;杨秦宇设计研发完成，并于2025-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆减薄机承载台的清洗组件在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于晶圆减薄机承载台的清洗组件，属于晶圆减薄领域，包括支架、油石打磨组件以及清洗刷组件，油石打磨组件包括第一电机、内转盘、支撑件以及油石片，清洗刷组件包括第二电机、传动机构以及外转盘；第一电机和第二电机均安装于支架上，内转盘包括第一底盘和第一转轴；外转盘包括第二底盘和环形块，第二底盘上设有中心孔，第一转轴的一端和第一底盘相连，另一端穿过中心孔伸出并与第一电机相连，环形块的下表面设有毛刷；传动机构包括第二转轴、主动齿轮和齿圈，第二转轴的一端和第一电机相连，第二转轴的另一端和主动齿轮相连，主动齿轮和齿圈啮合，从而能够提高清洗组件使用的便捷性。

本实用新型一种用于晶圆减薄机承载台的清洗组件在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆减薄机承载台的清洗组件，其特征在于，包括支架、油石打磨组件以及清洗刷组件，所述油石打磨组件包括第一电机、内转盘、支撑件以及油石片，所述清洗刷组件包括第二电机、传动机构以及外转盘； 所述第一电机和所述第二电机均安装于所述支架上，所述内转盘包括第一底盘和第一转轴，所述底盘和所述第一电机之间通过所述第一转轴连接，所述支撑件的一端和所述第一底盘的下表面相连，所述支撑件的另一端和所述油石片相连； 所述外转盘包括第二底盘和环形块，所述环形块连接于所述第二底盘的下表面，所述环形块的内环面与所述第二底盘的下表面共同围成容置槽，所述第二底盘上设有中心孔，所述第一底盘位于所述容置槽内，所述第一转轴的一端和所述第一底盘相连，另一端穿过所述中心孔伸出并与所述第一电机相连，所述环形块的下表面设有毛刷； 所述传动机构包括第二转轴、主动齿轮和齿圈，所述第二转轴的一端和所述第一电机相连，所述第二转轴的另一端和所述主动齿轮相连，所述齿圈固定于所述第二底盘的上表面且与所述第二底盘同轴设置，所述主动齿轮和所述齿圈啮合。

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