上海积塔半导体有限公司李欣玥获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利研磨液输送机构及研磨设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223848954U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520444227.9，技术领域涉及：B24B37/34；该实用新型研磨液输送机构及研磨设备是由李欣玥;顾浩;同小刚;闫晓晖设计研发完成，并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨液输送机构及研磨设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种研磨液输送机构及研磨设备。该研磨液输送机构设置于研磨垫的上方，研磨液输送机构具有固定端和与固定端相对的自由端；研磨液输送机构的自由端设置有喷淋头，喷淋头的一侧设置有多个喷孔，用于向研磨垫表面喷射研磨液；其中，多个喷孔呈阵列排布。该研磨液输送机构可以实现更大范围的研磨液落点，使研磨液更均匀地分布，从而使研磨率更加稳定，提升研磨平整度，在低流量的前提下也能够满足研磨率的要求，降低了研磨液成本。
本实用新型研磨液输送机构及研磨设备在权利要求书中公布了：1.一种研磨液输送机构，设置于研磨垫的上方，其特征在于，所述研磨液输送机构具有固定端和与所述固定端相对的自由端； 所述研磨液输送机构的所述自由端设置有喷淋头，所述喷淋头的一侧设置有多个喷孔，用于向所述研磨垫表面喷射研磨液； 其中，多个所述喷孔呈阵列排布。
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