浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司朱亮获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司申请的专利一种晶圆调度转运机械手装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223849278U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520394867.3,技术领域涉及:B25J15/08;该实用新型一种晶圆调度转运机械手装置是由朱亮;谢龙辉;张杭军;王凯;蒲涛;吴建国;夏希林;赵旗设计研发完成,并于2025-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆调度转运机械手装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆调度转运机械手装置,属于半导体制造技术领域。晶圆调度转运机械手装置,包括夹片机构,夹片机构包括底板、驱动件和至少两个间隔的第一旋转托盘,第一旋转托盘包括第一转动杆和连接于第一转动杆的第一托底,第一转动杆转动连接于底板,驱动件能够同时驱动至少两个第一转动杆转动,以使第一晶圆能够穿过至少两个第一转动杆之间,或至少两个第一托底同时托载第一晶圆。本实用新型的晶圆调度转运机械手装置,能够适应晶圆尺寸变化,具有对控制精度要求低、故障率低的优点,且不易造成晶圆污染。
本实用新型一种晶圆调度转运机械手装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆调度转运机械手装置,其特征在于,包括夹片机构1,所述夹片机构1包括底板11、驱动件12和至少两个间隔的第一旋转托盘13,所述第一旋转托盘13包括第一转动杆131和连接于所述第一转动杆131的第一托底132,所述第一转动杆131转动连接于所述底板11,所述驱动件12能够同时驱动至少两个所述第一转动杆131转动,以使第一晶圆100能够穿过至少两个所述第一转动杆131之间,或至少两个所述第一托底132同时托载所述第一晶圆100。
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