浙江芯晟半导体科技有限责任公司徐凯获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江芯晟半导体科技有限责任公司申请的专利一种立式扩散炉机械手的校准装置以及立式扩散炉机械手获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223849296U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520419095.4，技术领域涉及：B25J19/00；该实用新型一种立式扩散炉机械手的校准装置以及立式扩散炉机械手是由徐凯;郝建勇;何文设计研发完成，并于2025-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种立式扩散炉机械手的校准装置以及立式扩散炉机械手在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种立式扩散炉机械手的校准装置，包括校准基座和控制器，校准基座间隔设置有第一校准支架和第二校准支架，第一校准支架和第二校准支架之间形成供机械手伸入的校准空间，第一校准支架上设有发射器组件，第二校准支架上设有与发射器组件对应设置的接收器组件，发射器组件与接收器组件位于同一高度，以使发射器组件向接收器组件发射水平的光信号，控制器根据接收器组件反馈的信号判断机械手是否水平。还公开了一种立式扩散炉机械手，包括机台、安装于机台的机械手和所述的校准装置。本实用新型主要提供一种立式扩散炉机械手的校准装置，解决了人工校准误差大、效率低的问题，达到了校准精确的效果。
本实用新型一种立式扩散炉机械手的校准装置以及立式扩散炉机械手在权利要求书中公布了：1.一种立式扩散炉机械手的校准装置，其特征在于，包括校准基座和控制器，校准基座间隔设置有第一校准支架和第二校准支架，第一校准支架和第二校准支架之间形成供机械手伸入的校准空间，第一校准支架上设有发射器组件，第二校准支架上设有与发射器组件对应设置的接收器组件，发射器组件与接收器组件位于同一高度，以使发射器组件向接收器组件发射水平的光信号，控制器根据接收器组件反馈的信号判断机械手是否水平。
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