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龙图腾网获悉台晶(重庆)电子有限公司申请的专利一种芯片溅镀掩膜片倒片测试设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223852731U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423302660.3，技术领域涉及：C23C14/04；该实用新型一种芯片溅镀掩膜片倒片测试设备是由杨振军设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种芯片溅镀掩膜片倒片测试设备在说明书摘要公布了：本专利涉及溅镀掩膜片倒片测试设备技术领域，具体是一种芯片溅镀掩膜片倒片测试设备，包括机架、承载治具进料机构、承载治具抓取机构、承载治具传送机构、掩膜片倒片机构和芯片检测机构，所述承载治具进料机构、承载治具抓取机构、承载治具传送机构、掩膜片倒片机构和晶片检测机构依次设置在机架上；通过承载治具进料机构、承载治具抓取机构、承载治具传送机构、掩膜片倒片机构和芯片检测机构与PLC控制系统的配合，实现了对芯片溅镀后的承载治具上的掩膜片的自动剥离和对溅镀后的芯片电性参数的自动测试，解决了溅镀后的芯片掩膜片手动剥离作业过程中，容易出现溅镀后的芯片散乱、目检困难的问题。

本实用新型一种芯片溅镀掩膜片倒片测试设备在权利要求书中公布了：1.一种芯片溅镀掩膜片倒片测试设备，其特征在于：包括机架、承载治具进料机构、承载治具抓取机构、承载治具传送机构、掩膜片倒片机构和芯片检测机构，所述承载治具进料机构、承载治具抓取机构、承载治具传送机构、掩膜片倒片机构和晶片检测机构依次设置在机架上； 所述掩膜片倒片机构包括载盘存储箱、载盘固定座、载盘供给组件、承载治具固定夹爪组件和掩膜片夹取组件，所述载盘存储箱内放置有若干治具载盘，所述载盘供给组件将治具载盘从载盘存储箱内取出并放置在载盘固定座上，所述承载治具固定夹爪组将承载治具从承载治具传送机构上抓取并放置到载盘固定座上的治具载盘上，所述掩膜片夹取组件将承载治具中的上层盖板和掩膜片两层夹取分离；所述掩膜片夹取组件包括掩膜片夹取X轴、掩膜片夹取夹爪和掩膜片收纳盒，所述掩膜片夹取夹爪安装在掩膜片夹取X轴上，所述掩膜片收纳盒放置在掩膜片夹取夹爪移动路径的正下方，所述掩膜片夹取夹爪包括夹爪升降电机、滑轨、滑块、挡板气缸、夹取挡板、夹爪气缸和磁性夹爪，所述滑轨安装在掩膜片夹取X轴的运动件上，所述滑块竖直滑动连接在滑轨上，所述夹爪升降电机驱动滑块沿滑轨滑动，所述挡板气缸竖直安装在滑块底部，所述夹取挡板固定在挡板气缸底部的输出轴上，所述夹爪气缸横向安装在滑块底部，所述夹爪气缸的输出轴朝向夹取挡板，所述磁性夹爪固定在夹爪气缸的输出轴上，所述磁性夹爪端部固定有电磁铁。

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