三星显示有限公司金明圭获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223852734U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423159988.4，技术领域涉及：C23C14/22；该实用新型沉积装置是由金明圭;郑兴铁;韩种馩设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本沉积装置在说明书摘要公布了：沉积装置包括：沉积源，通过喷射口朝向基板喷射沉积物质；角度限制板，具有限定有第一区域、第二区域和第三区域的多边形的截面形状，第一区域布置在喷射口的周边而限制沉积物质的喷射角度并具有第一温度，第二区域与第一区域交叉并具有与第一温度不同的第二温度，第三区域位于第一区域与第二区域之间并具有与第一温度和第二温度不同的第三温度，所述角度限制板通过旋转动作在第一区域、第二区域和第三区域重复移动时去除污染物；以及旋转驱动装置，使角度限制板旋转。
本实用新型沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种沉积装置，其特征在于，包括： 沉积源，通过喷射口朝向基板喷射沉积物质； 角度限制板，具有限定有第一区域、第二区域和第三区域的多边形的截面形状，所述第一区域布置在所述喷射口的周边而限制所述沉积物质的喷射角度并具有第一温度，所述第二区域与所述第一区域交叉并具有与所述第一温度不同的第二温度，所述第三区域位于所述第一区域与所述第二区域之间并具有与所述第一温度和所述第二温度不同的第三温度，所述角度限制板通过旋转动作在所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域重复移动时去除污染物；以及 旋转驱动装置，使所述角度限制板旋转。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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