东方日升新能源股份有限公司席航获国家专利权
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龙图腾网获悉东方日升新能源股份有限公司申请的专利一种靶材结构及物理气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223852735U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520022422.2，技术领域涉及：C23C14/22；该实用新型一种靶材结构及物理气相沉积设备是由席航;周翔;任明冲;杨伯川;何彬彬设计研发完成，并于2025-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种靶材结构及物理气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及薄膜沉积技术领域，尤其是涉及一种靶材结构及物理气相沉积设备。该靶材结构包括靶材本体，靶材本体两端的外壁面设有弧形凸起靶材，靶材本体的中部向其中心凹陷形成弧面凹槽。与现有技术相比，本实用新型中该靶材结构提高了靶材利用率和延长使用寿命，能够减少靶材的使用量和更换频率，进而降低生产成本；同时，延长保养周期还能减少停工时间，提高生产效率，从而间接降低成本。
本实用新型一种靶材结构及物理气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种靶材结构，其特征在于： 所述靶材结构包括靶材本体，所述靶材本体两端的外壁面设有弧形凸起靶材，所述靶材本体的中部向其中心凹陷形成弧面凹槽； 所述靶材本体沿其长度方向依次划分为第一非刻蚀区、第一强刻蚀区、正常刻蚀区、第二强刻蚀区、以及第二非刻蚀区； 所述弧形凸起靶材设置在所述靶材本体的第一强刻蚀区与第二强刻蚀区处；所述弧面凹槽设置在所述靶材本体的正常刻蚀区处。
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