唐山国芯晶源电子有限公司陈建松获国家专利权
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龙图腾网获悉唐山国芯晶源电子有限公司申请的专利一种镀膜修正框架及镀膜修正结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223852744U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422933641.4,技术领域涉及:C23C14/34;该实用新型一种镀膜修正框架及镀膜修正结构是由陈建松;周如永;杨铁生;丁洁;苏日;张艳静设计研发完成,并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种镀膜修正框架及镀膜修正结构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种镀膜修正框架,包括框架主体和修正板,框架主体包括安装面板、立面板和支撑板,立面板设置在安装面板的边沿上,安装面板上开设可供靶材溅射穿过的溅射槽框,支撑板固定在溅射槽框的中部,修正板安装在支撑板上。本实用新型还包括一种镀膜修正结构,本实用新型的立面板将镀膜溅射空间围起来,使溅射的靶材在空间上更集中,且与修正板结合增加镀膜的均匀性,属于镀膜加工技术领域。
本实用新型一种镀膜修正框架及镀膜修正结构在权利要求书中公布了:1.一种镀膜修正框架,其特征在于:包括框架主体和修正板1,框架主体包括安装面板2、立面板和支撑板4,立面板设置在安装面板2的边沿上,安装面板2上开设可供靶材15溅射穿过的溅射槽框3,支撑板4固定在溅射槽框3的中部,修正板1安装在支撑板4上。
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