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龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种可大面积冷却的靶材转动机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223852745U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520046231.X，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种可大面积冷却的靶材转动机构是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种可大面积冷却的靶材转动机构在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种可大面积冷却的靶材转动机构，包括靶材、靶材罩壳、磁流体转动机构、驱动机构，磁流体转动机构包括磁流体外壳和磁流体轴，磁流体轴与靶材的连接处设有分水块，分水块外侧周向设置有至少两个出水块，每个出水块对应一块靶材，每个靶材与出水块之间设有靶材水冷板，靶材水冷板上围绕靶材水冷板中心密布有冷却流道，每个冷却流道的中部设有第一进水口和第一出水口；磁流体外壳上设有总进水口和总出水口，水流流经第一个靶材对应的冷却流道，从第一进水口进入后沿冷却流道环形流向外圈再流向内圈，接着从第一出水口流向该靶材对应的出水块、分水块、冷却流道，以此类推，从而对靶材进行大面积冷却降温，冷却效果好。

本实用新型一种可大面积冷却的靶材转动机构在权利要求书中公布了：1.一种可大面积冷却的靶材转动机构，包括靶材21、靶材罩壳1、磁流体转动机构5、驱动机构6，所述驱动机构6的本体与真空腔体底板固定连接，所述磁流体转动机构5通过法兰12与真空腔体的侧壁连接，所述法兰12一端设于腔体外，另一端穿过腔体设于腔体内，用于支撑磁流体转动机构5，所述磁流体转动机构5包括磁流体外壳51和磁流体轴52，所述磁流体外壳51套接于法兰12内壁，磁流体外壳51的一端与靶材罩壳1固定连接，所述磁流体轴52套接于磁流体外壳51内，所述磁流体轴52的一端穿过真空腔体侧壁与真空腔室内的靶材21连接，靶材21随磁流体轴52转动，磁流体轴52的另一端与所述驱动机构6的驱动轴连接；所述靶材罩壳1套设于靶材21外，且与靶材21之间留有间隙，其特征在于：所述磁流体轴52与靶材21的连接处设有分水块4，所述分水块4外侧周向设置有至少两个出水块3，每个出水块3对应一块靶材21，每个所述靶材21与出水块3之间设有靶材水冷板25，所述靶材水冷板25上围绕靶材水冷板25中心密布有冷却流道251，每个所述冷却流道251的中部设有第一进水口252和第一出水口253，所述磁流体外壳51上设有总进水口511和总出水口512，水流从磁流体外壳51上的总进水口511进入后，引入磁流体轴52内，自磁流体轴52的端面引至安装在端面的分水块4内，通过分水块4和出水块3使得水流流经第一个靶材21对应的冷却流道251，水流从第一进水口252进入后沿冷却流道251环形流向外圈，再折弯沿冷却流道251环形流向内圈，接着从第一出水口253流向该靶材21对应的出水块3，接着流入分水块4，再由分水块4流向下一个靶材21对应的冷却流道251，以此类推，最后从磁流体外壳51上的总出水口512流出，从而对靶材21进行大面积冷却降温。

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