江苏蚩煜科技有限公司莫雯霞获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏蚩煜科技有限公司申请的专利一种多靶磁控溅射镀膜仪获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223852748U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520467922.7，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种多靶磁控溅射镀膜仪是由莫雯霞;陈妍;王浩;李磊;李婷婷设计研发完成，并于2025-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多靶磁控溅射镀膜仪在说明书摘要公布了：本实用新型涉及控溅射镀设备技术领域，具体公开了一种多靶磁控溅射镀膜仪，包括：支架平台，支架平台的上端通过底法兰安装有主腔体，主腔体的内部设置有衬底组件，主腔体的上端设置有调节机构，调节机构包括衬底Y轴旋转驱动器、衬底升降驱动器和衬底X轴旋转驱动器，主腔体的内部通过角度调节组件连接有溅射枪；本实用新型设置的磁控溅射镀膜仪整体结构设计紧凑，占用空间较小；装置采用全金属密封技术，显著提升了密封性能；溅射枪能够切换至射频电源，实现非金属材料的镀膜；溅射枪的角度能够根据需要进行调节；衬底能够自由沿X轴和Y轴进行旋转，沿Z轴进行升降操作；溅射速率得到提升，能够根据客户需求在样品的多角度位置进行镀膜。
本实用新型一种多靶磁控溅射镀膜仪在权利要求书中公布了：1.一种多靶磁控溅射镀膜仪，其特征在于，包括：支架平台1，所述支架平台1的上端通过底法兰13安装有主腔体6，所述支架平台1的内侧底端通过升降台2安装有分子泵3，所述分子泵3与所述主腔体6连接，所述主腔体6的内部设置有衬底组件14，所述主腔体6的上端设置有调节机构，所述调节机构与所述衬底组件14连接，所述调节机构包括衬底Y轴旋转驱动器9、衬底升降驱动器10和衬底X轴旋转驱动器，所述主腔体6的内部通过角度调节组件连接有溅射枪15，所述主腔体6的外侧设置有金属密封法兰11。
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