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龙图腾网获悉深圳市昊兴科技有限公司申请的专利一种真空磁控溅射源圆柱靶材装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223852749U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520522689.8，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种真空磁控溅射源圆柱靶材装置是由赵勇设计研发完成，并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空磁控溅射源圆柱靶材装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种真空磁控溅射源圆柱靶材装置，包括：圆柱形靶材，可旋转，安装于靶背管；驱动电机用于驱动靶材及自清洁阳极挡板旋转。自清洁阳极挡板和阳极防护罩，设置于靶材外侧，防止被其他靶材污染；自清洁阳极挡板执行机构连接至自清洁阳极挡板，用于控制自清洁阳极挡板的开启与关闭；磁芯角度调整机构用于在线调整阴极磁芯的角度；炉体密封法兰和绝缘法兰，分别实现真空密封与电绝缘；工作气管用于通入工作气体。本实用新型通过一系列创新设计，解决了现有技术中存在的靶材污染、真空泄漏及磁场调整不便等问题，不仅提高了镀膜质量和生产效率，还增强了设备的操作灵活性和可靠性，利用一个电机正反转实现了靶材及自清洁阳极挡板的驱动问题。

本实用新型一种真空磁控溅射源圆柱靶材装置在权利要求书中公布了：1.一种真空磁控溅射源圆柱靶材装置，其特征在于，包括真空室及设置于其内的至少一个靶材单元，所述靶材单元包括： 圆柱形靶材，可旋转安装于靶背管； 驱动电机通过静密封传动或动密封传动机构与靶背管连接，用于驱动靶材旋转； 自清洁阳极挡板和阳极防护罩，可移动地设置于靶材外侧，在真空室内转动或平移以遮挡靶材，用于遮挡在非工作状态时靶材，防止被其他靶材污染； 自清洁阳极挡板执行机构，通过静密封传动或动密封传动机构连接至自清洁阳极挡板，用于控制自清洁阳极挡板的开启与关闭； 磁芯角度调整机构，设置于真空室外，用于在线调整阴极磁芯的角度； 炉体密封法兰和绝缘法兰，分别实现真空密封与电绝缘； 工作气管，用于通入工作气体； Mask板，用于遮挡不需要溅射的区域； 其中，所述驱动电机正向旋转时，靶材处于工作状态并旋转，反向旋转时，自清洁阳极挡板执行机构驱动自清洁阳极挡板关闭配合阳极防护罩用于遮挡靶材。

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