上海积塔半导体有限公司陈建国获国家专利权
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龙图腾网获悉上海积塔半导体有限公司申请的专利一种安装或拆卸磁控溅射工作腔的屏蔽部件的辅助工件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223852750U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520527323.X，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种安装或拆卸磁控溅射工作腔的屏蔽部件的辅助工件是由陈建国;单翌;闫晓晖设计研发完成，并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种安装或拆卸磁控溅射工作腔的屏蔽部件的辅助工件在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种安装或拆卸磁控溅射工作腔的屏蔽部件的辅助工件，所述辅助工件包括工件本体，工件本体上依次形成有支撑部和固定卡接部；固定卡接部自顶端向支撑部方向延伸形成有限位卡接凹槽；所述支撑部侧向凸出于固定卡接部以形成有露出于固定卡接部的顶端面和用于抵接工作腔的抵接外侧面；所述顶端面为倾斜支撑面，所述顶端面自其与固定卡接部的连接处至其与抵接外侧面交汇处逐渐向底部倾斜。本实用新型提供的这种安装和拆卸陶瓷件的辅助工件，可以对外杯和钽环的外周凸台进行支撑固定，不仅防止了拆卸过程中陶瓷件与两者摩擦产生的损伤，有效保护陶瓷件；还能够方便安装时的螺丝固定，操作简单，缩短了安装和拆卸的时间。
本实用新型一种安装或拆卸磁控溅射工作腔的屏蔽部件的辅助工件在权利要求书中公布了：1.一种安装或拆卸磁控溅射工作腔的屏蔽部件的辅助工件，其特征在于，所述辅助工件包括工件本体，工件本体上依次形成有支撑部120和固定卡接部110；固定卡接部110自顶端向支撑部120方向延伸形成有限位卡接凹槽111；所述支撑部120侧向凸出于固定卡接部以形成有露出于固定卡接部的顶端面121和用于抵接工作腔的抵接外侧面122；所述顶端面121为倾斜支撑面，所述顶端面121自其与固定卡接部的连接处至其与抵接外侧面122交汇处逐渐向底部倾斜。
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