通威太阳能(金堂)有限公司潘登获国家专利权
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龙图腾网获悉通威太阳能(金堂)有限公司申请的专利一种PVD镀膜载板及设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223852752U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520007200.3，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种PVD镀膜载板及设备是由潘登;孙林设计研发完成，并于2025-01-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种PVD镀膜载板及设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种PVD镀膜载板及设备，涉及镀膜工艺设备领域。该PVD镀膜载板包括载板主体，PVD镀膜载板载板主体的一侧凹设有用于放置硅片的硅片槽，PVD镀膜载板硅片槽的槽底壁上分别设置有延伸至PVD镀膜载板载板主体另一侧的镀膜通道与镂空标识，PVD镀膜载板镀膜通道对应PVD镀膜载板硅片的镀膜区，PVD镀膜载板镂空标识用于在PVD镀膜载板硅片的掩膜区沉积标识图案。本实用新型提供的镀膜载板，能够在镀膜过程中在硅片的掩膜区上形成标识图案，以便溯源对应载板及对应沉积区域。
本实用新型一种PVD镀膜载板及设备在权利要求书中公布了：1.一种PVD镀膜载板，其特征在于，包括载板主体110，所述载板主体110的一侧凹设有用于放置硅片200的硅片槽111，所述硅片槽111的槽底壁上分别设置有延伸至所述载板主体110另一侧的镀膜通道112与镂空标识113，所述镀膜通道112对应所述硅片200的镀膜区210，所述镂空标识113用于在所述硅片200的掩膜区220沉积标识图案221。
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