光驰科技(上海)有限公司周斌获国家专利权
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龙图腾网获悉光驰科技(上海)有限公司申请的专利一种工件装载机构及真空处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223852754U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520110441.0，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种工件装载机构及真空处理装置是由周斌;孙宇勃;李展鹏;秦亲亲;张江龙设计研发完成，并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种工件装载机构及真空处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于真空处理技术领域，公开一种工件装载机构及真空处理装置。工件装载机构包括安装组件和第一修正组件，安装组件包括基座和用于安装工件的安装件，安装件转动连接于基座；第一修正组件与安装件对应设置，包括第一修正件和第二修正件，第二修正件设置于工件的周侧，且第二修正件的第一端可拆卸连接于基座，第一修正件与第二修正件的第二端可拆卸连接，第一修正件设有第一通孔。本实用新型能实现对工件表面各个位置膜层的较好控制，尽可能保证工件各个位置的膜厚均匀性一致，此外，将第一修正组件围在工件外，能实现对工件表面膜层的较好控制，且本实用新型的结构较为简单。
本实用新型一种工件装载机构及真空处理装置在权利要求书中公布了：1.一种工件装载机构，其特征在于，包括： 安装组件，包括基座1和用于安装工件100的安装件，所述安装件转动连接于所述基座1； 第一修正组件3，与所述安装件对应设置，所述第一修正组件3包括第一修正件31和第二修正件32，所述第二修正件32设置于所述工件100的周侧，所述第二修正件32的第一端可拆卸连接于所述基座1，所述第一修正件31与所述第二修正件32的第二端可拆卸连接，所述第一修正件31设有第一通孔311。
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