拉普拉斯新能源科技股份有限公司刘文韬获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯新能源科技股份有限公司申请的专利舟结构及镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223852757U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520512330.2,技术领域涉及:C23C14/50;该实用新型舟结构及镀膜设备是由刘文韬;方伟洲;郭双发;刘宇设计研发完成,并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本舟结构及镀膜设备在说明书摘要公布了:本公开涉及半导体和光伏技术领域,尤其涉及一种舟结构及镀膜设备,解决了相关技术中充入反应腔的气体对舟结构承载的料盒中的片材进行镀膜时镀膜均匀性和镀膜效率较差的问题。该舟结构包括至少一个载舟,具有至少一个容置腔室,每一容置腔室被配置为容置一料盒,且被容置的料盒和容置腔室的内壁之间具有与气孔连通的空隙,载舟在第一方向相对的两侧分别设有与空隙连通的进气口和出气口,载舟还设有至少一个与空隙连通的第一通孔,以使气体至少能够分别从进气口和第一通孔进入空隙后再从气孔进入料腔以作用于待镀膜表面。本公开提供的舟结构及镀膜设备,提高了对所承载的料盒内片材镀膜时的镀膜均匀性和镀膜效率。
本实用新型舟结构及镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种舟结构,其特征在于,被配置为承载具有料腔的料盒,所述料腔被配置为承载多个片材,所述料盒具有与所述料腔连通的气孔,从所述气孔进入的气体被配置为对所述片材的待镀膜表面镀膜,所述舟结构包括: 至少一个载舟,具有至少一个容置腔室,每一所述容置腔室被配置为容置一所述料盒,且被容置的所述料盒和所述容置腔室的内壁之间具有与所述气孔连通的空隙,所述载舟在第一方向相对的两侧分别设有与所述空隙连通的进气口和出气口,所述载舟还设有至少一个与所述空隙连通的第一通孔,以使气体至少能够分别从所述进气口和所述第一通孔进入所述空隙后再从所述气孔进入所述料腔以作用于所述待镀膜表面。
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