常州捷佳创精密机械有限公司左国军获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉常州捷佳创精密机械有限公司申请的专利卧式HWCVD设备工艺腔室及工艺腔室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223852763U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520049437.8，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型卧式HWCVD设备工艺腔室及工艺腔室是由左国军;朱海剑;侯岳明;杨虎设计研发完成，并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本卧式HWCVD设备工艺腔室及工艺腔室在说明书摘要公布了：本实用新型属于太阳能电池生产制造领域，尤其涉及一种卧式HWCVD设备工艺腔室及工艺腔室，其中卧式HWCVD设备工艺腔室包括：腔体，其上部设置有匀气腔，匀气腔内设置有多层覆盖式匀气室，且匀气室设置有进气通道，进气通道通入的工艺气体经过匀气室进入匀气腔，喷淋模块，其喷淋经匀气室均匀混合后的工艺气体，热丝模块，其包括若干均匀间隔设置在喷淋管间的热丝组。本实用新型通过设置多层覆盖式的匀气室，在匀气室内均匀混合工艺气体，并通过将热丝组均匀间隔设置在喷淋管间，进而充分加热分解喷淋管喷淋的工艺气体，提高了镀膜的均匀性，实现了大产能HWCVD设备产品稳定性好的效果。
本实用新型卧式HWCVD设备工艺腔室及工艺腔室在权利要求书中公布了：1.一种卧式HWCVD设备工艺腔室，其特征在于，包括： 腔体1，其上部设置有匀气腔2，所述匀气腔2的上部设置有与腔体1顶部连接的加热板21； 其中，所述匀气腔2内设置有多层覆盖式匀气室3，所述匀气室3以加热板21为顶板，且匀气室3设置有进气通道31，所述进气通道31通入的工艺气体经过匀气室3进入匀气腔2； 喷淋模块4，其设置在匀气室3下方，且具有若干向下突出的喷淋管41，所述喷淋管41喷淋经匀气室3均匀混合后的工艺气体；以及 热丝模块5，其包括若干均匀间隔设置在喷淋管41间的热丝组51，以加热喷淋管41喷淋的工艺气体至分解。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人常州捷佳创精密机械有限公司，其通讯地址为：213000 江苏省常州市新北区黄河西路790号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励