江苏微导纳米科技股份有限公司陈云获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利沉积设备和沉积系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223852766U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520410065.7，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型沉积设备和沉积系统是由陈云;廖宝臣;陈程;浦锡伟设计研发完成，并于2025-03-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本沉积设备和沉积系统在说明书摘要公布了：本申请公开了沉积设备和沉积系统。沉积设备包括设备主体、工艺管和挡板。设备主体的至少其中一端设置有开口，设备主体具有与开口连通的容置腔体。工艺管经开口可拆卸安装于容置腔体。挡板可拆卸设置于容置腔体内，且位于工艺管下方，挡板设置于工艺管与设备主体之间。通过上述方式，本申请能够方便工艺管的更换。
本实用新型沉积设备和沉积系统在权利要求书中公布了：1.一种沉积设备，其特征在于，包括： 设备主体，所述设备主体的至少其中一端设置有开口，所述设备主体具有与所述开口连通的容置腔体； 工艺管，经所述开口可拆卸安装于所述容置腔体； 挡板，可拆卸设置于所述容置腔体内，且位于所述工艺管下方，所述挡板设置于所述工艺管与所述设备主体之间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏微导纳米科技股份有限公司，其通讯地址为：214028 江苏省无锡市新吴区长江南路27号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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