沉积半导体材料(南通)有限公司吴鹏飞获国家专利权
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龙图腾网获悉沉积半导体材料(南通)有限公司申请的专利固态前驱体的送料装置和化学气相沉积系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223852767U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520440703.X，技术领域涉及：C23C16/448；该实用新型固态前驱体的送料装置和化学气相沉积系统是由吴鹏飞;苗峙;黄明儒;徐娜娜;胡金玉;金春子;郭彩琴;陈萍;涂建新设计研发完成，并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本固态前驱体的送料装置和化学气相沉积系统在说明书摘要公布了：本申请涉及CVD沉积陶瓷涂层技术领域，尤其涉及固态前驱体的送料装置和化学气相沉积系统。该固态前驱体的送料装置包括：惰性气体置换部、送料部和保护气体部；惰性气体置换部用于盛放固态前驱体并将固态前驱体所处的气氛置换为惰性气体；送料部用于接收处于惰性气体中的固态前驱体，并将固态前驱体运送至沉积炉体；保护气体部用于使至少部分送料部处于保护气体内。本申请实施例采用惰性气体置换部可以主动的去除固态前驱体携带的空气，而保护气体部使得部分或整体的送料部处于保护气体气氛，避免泄露点的存在造成空气的入侵，进一步减少了进入到沉积炉体内的空气含量，由此，降低水氧含量，进而可以提高化学气相沉积陶瓷涂层的质量。
本实用新型固态前驱体的送料装置和化学气相沉积系统在权利要求书中公布了：1.一种固态前驱体的送料装置，其特征在于，包括： 惰性气体置换部，所述惰性气体置换部用于盛放固态前驱体并将所述固态前驱体所处的气氛置换为惰性气体； 送料部，所述送料部用于接收处于所述惰性气体中的所述固态前驱体，并将所述固态前驱体运送至沉积炉体16； 保护气体部，所述保护气体部用于使至少部分所述送料部处于保护气体内。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人沉积半导体材料(南通)有限公司，其通讯地址为：226000 江苏省南通市如东县如东经济开发区牡丹江路159号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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