江苏微导纳米科技股份有限公司侯永刚获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种进气装置及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223852769U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520524152.5，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种进气装置及半导体设备是由侯永刚;柴智;嵇锦鹏;王国超设计研发完成，并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种进气装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开的进气装置和半导体设备，进气装置包括进气件和匀气件，进气件上至少设置有两个进气通道，进气件与匀气件层叠设置，匀气件上设置有与各个进气通道连通的匀气腔，各个匀气腔的底部均设置有若干与匀气腔连通的匀气孔。本实用新型公开的进气装置，使得至少两种工艺气体能够隔离输送，防止不同的工艺气体在进气装置中因混合发生化学反应，能够减少在进气装置中产生颗粒；匀气孔的设置增大了气体反向流动阻力，减小了不同的工艺气体发生反流的可能，能够提高镀膜的均匀性。
本实用新型一种进气装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种进气装置，其特征在于，包括： 进气件10，所述进气件10上至少设置有两个进气通道11； 匀气件20，所述进气件10与所述匀气件20层叠设置，所述匀气件20上设置有与各个所述进气通道11连通的匀气腔21，各个所述匀气腔21的底部均设置有若干与所述匀气腔21连通的匀气孔22。
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