江苏微导纳米科技股份有限公司周瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种加热腔体及沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223852770U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520524579.5，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种加热腔体及沉积设备是由周瑞;周芸福;王新征;苏晓华设计研发完成，并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种加热腔体及沉积设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种加热腔体及沉积设备，该加热腔体的内部包括沿竖直方向间隔设置的上加热器、晶圆加热器和下加热器，晶圆加热器靠近晶圆设置并设置于上加热器和下加热器之间；上加热器至少包括独立设置的第一加热部和第二加热部，第一加热部设置于晶圆加热器的正上方，第二加热部相对第一加热部设置并与第一加热部填充加热腔体的顶部区域。本实用新型在多组加热器的基础上，将上加热器完全填充以覆盖加热腔体的顶部区域，而对加热腔体顶部的大部分区域进行加热，同时上加热器细分为至少两个独立的加热部，以对反应区顶部的不同区域进行独立调节，进而提升反应区上方热场的均匀程度。
本实用新型一种加热腔体及沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种加热腔体，其特征在于，内部包括沿竖直方向间隔设置的上加热器、晶圆加热器和下加热器，所述晶圆加热器靠近晶圆设置并设置于所述上加热器和所述下加热器之间； 所述上加热器至少包括独立设置的第一加热部和第二加热部，所述第一加热部设置于所述晶圆加热器的正上方，所述第二加热部相对所述第一加热部设置并与所述第一加热部共同填充所述加热腔体的顶部区域。
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