天合光能股份有限公司程翔宇获国家专利权
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龙图腾网获悉天合光能股份有限公司申请的专利PECVD设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223852772U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520175752.5,技术领域涉及:C23C16/458;该实用新型PECVD设备是由程翔宇设计研发完成,并于2025-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本PECVD设备在说明书摘要公布了:本申请公开了一种PECVD设备,属于光伏技术领域。所述PECVD设备包括:底座,所述底座形成外腔;多个冷却装置,沿竖向堆叠安装于所述外腔,所述冷却装置包括支撑件和安装于所述支撑件的冷却塔,相邻两个所述冷却塔通过沿竖向对应的两组所述支撑件配合相连;导向件,安装于外腔,且形成导向槽,所述导向槽的延伸方向与所述多个冷却装置的堆叠方向平行,所述支撑件与所述导向槽滑动配合。通过上述导向件的设置,显著减少了因空间限制导致的对接偏差,提高了吊装精度和稳定性,限制了冷却装置在吊装过程中的自由移动,减少了内腔在吊装时的晃动,从而减少了内腔的内部部件在吊装过程中的碰撞损伤。
本实用新型PECVD设备在权利要求书中公布了:1.一种PECVD设备,其特征在于,包括: 底座,所述底座形成外腔; 多个冷却装置,所述多个冷却装置沿竖向堆叠安装于所述外腔,所述冷却装置包括支撑件和安装于所述支撑件的冷却塔,相邻两个所述冷却塔通过沿竖向对应的两组所述支撑件配合相连; 导向件,所述导向件安装于外腔,且形成导向槽,所述导向槽的延伸方向与所述多个冷却装置的堆叠方向平行,所述支撑件与所述导向槽滑动配合。
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