华虹集成电路(成都)有限公司黄磊获国家专利权
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龙图腾网获悉华虹集成电路(成都)有限公司申请的专利沉积腔体射频反射功率调节装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223852774U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520289770.6，技术领域涉及：C23C16/505；该实用新型沉积腔体射频反射功率调节装置是由黄磊;柳小敏;张啸设计研发完成，并于2025-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本沉积腔体射频反射功率调节装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种沉积腔体射频反射功率调节装置，该调节装置包括调节块、线圈和驱动装置，调节块与线圈之间为“全包”锁定方式，驱动装置驱动调节块沿线圈滑动以改变线圈的阻抗。调节块与线圈紧密贴合，有效避免调节块发生脱落和松动，抑制线圈电弧的出现，确保射频反射功率的稳定输出。
本实用新型沉积腔体射频反射功率调节装置在权利要求书中公布了：1.一种沉积腔体射频反射功率调节装置，其特征在于，所述调节装置包括调节块200、线圈201和驱动装置，所述调节块200与所述线圈201之间为“全包”锁定方式，所述驱动装置驱动所述调节块200沿所述线圈201滑动以改变所述线圈201的阻抗。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华虹集成电路(成都)有限公司，其通讯地址为：610095 四川省成都市成都高新区康胜路100号附1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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