沈阳芯源微电子设备股份有限公司李海航获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请的专利基板边缘检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223859620U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520160773.X，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型基板边缘检测设备是由李海航;魏浩东;苗涛;吴天昊;王玉宝设计研发完成，并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板边缘检测设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了基板边缘检测设备，涉及半导体加工技术领域。包括基台以及设置在所述基台上的承载组件、照明单元、反射镜单元和拍摄单元；所述承载组件用于放置基板，并带动所述基板运行；所述照明单元靠近所述承载组件设置，所述照明单元用于照明所述基板；所述反射镜单元靠近所述照明单元设置，所述反射镜单元用于将所述基板上的光线反射至所述拍摄单元；所述拍摄单元对应所述反射镜单元设置，所述拍摄单元用于对所述基板进行光学成像。本实用新型中的反射镜为全反射镜，光线通过反射镜只进行一次反射，能够提升反射镜单元对光源的利用率，避免了能源的浪费。
本实用新型基板边缘检测设备在权利要求书中公布了：1.一种基板边缘检测设备，其特征在于，包括基台以及设置在所述基台上的承载组件、照明单元、反射镜单元和拍摄单元； 所述承载组件用于放置基板，并带动所述基板运行； 所述照明单元靠近所述承载组件设置，所述照明单元用于照明所述基板； 所述反射镜单元靠近所述照明单元设置，所述反射镜单元用于将所述基板上的光线反射至所述拍摄单元； 所述拍摄单元对应所述反射镜单元设置，所述拍摄单元用于对所述基板进行光学成像。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人沈阳芯源微电子设备股份有限公司，其通讯地址为：110180 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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