株式会社斯库林集团桑原丈二获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底搬送装置及衬底搬送方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114156198B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111024947.2，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权衬底搬送装置及衬底搬送方法是由桑原丈二设计研发完成，并于2021-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底搬送装置及衬底搬送方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种位置判定装置、衬底搬送装置、位置判定方法及衬底搬送方法。衬底搬送装置具备保持衬底的机械手、使机械手在水平面内分别移动的支撑部件、旋转部件及移动部件。此外，衬底搬送装置具备：检测器，具有检测区域；及搬送控制部，在搬送衬底时控制支撑部件的移动、旋转部件的旋转及移动部件的移动。搬送控制部以由机械手保持的衬底的外周端部中的多个部分依序位于检测器的检测区域的方式，进行所述各部的控制。基于检测器的输出信号分别算出机械手中多个部分的位置。基于算出的多个部分的位置，判定机械手中的衬底的位置。
本发明授权衬底搬送装置及衬底搬送方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底搬送装置，为判定由支撑部支撑的衬底的位置的衬底搬送装置，具备： 搬送保持部，构成为能够一边保持所述衬底且一边移动； 第1检测器，设置于所述搬送保持部，具有第1检测区域； 第2检测器，设置于所述搬送保持部，具有第2检测区域； 相对移动部，构成为能够通过使所述搬送保持部移动，使所述第1检测器和所述第2检测器相对于由所述支撑部所支撑的所述衬底相对移动；及 控制部，控制所述相对移动部；且 所述控制部包含： 相对移动控制部，以所述衬底的外周端部中的第1和第2部分依序位于所述第1检测区域，且所述衬底的外周端部中的第3和第4部分依序位于所述第2检测区域的方式，控制所述相对移动部； 部分位置算出部，基于所述第1和所述第2检测器的检测信号，分别算出所述支撑部上的所述第1部分、所述第2部分、所述第3部分及所述第4部分的位置；及 位置判定部，基于由所述部分位置算出部算出的所述第1部分、所述第2部分、所述第3部分及所述第4部分的位置，判定所述支撑部上的所述衬底的位置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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