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龙图腾网获悉深圳鼎晶科技有限公司申请的专利晶圆翻转装置及巨量转移设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114361088B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111642293.X，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权晶圆翻转装置及巨量转移设备是由喻泷设计研发完成，并于2021-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆翻转装置及巨量转移设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种晶圆翻转装置及巨量转移设备。所述晶圆翻转装置包括晶圆载台、旋转驱动机构和激光测距模块；所述晶圆载台的一侧具有晶圆固定区，所述晶圆载台能装载并固定晶圆于所述晶圆固定区；所述旋转驱动机构与所述晶圆载台连接，用于驱动所述晶圆载台转动，以改变所述晶圆固定区的朝向；所述激光测距模块安装在被所述旋转驱动机构驱动旋转的转动体上，用于测量所述晶圆载台上所装载的晶圆与目标基板之间的距离。上述晶圆翻转装置通过设置激光测距模块，可以测量晶圆与目标基板之间的距离，根据晶圆和目标基板之间的距离，及时对晶圆载台的翻转过程进行调整，避免晶圆载台和目标基板及目标基板的固定设备之间发生碰撞，防止因碰撞而产生破坏。

本发明授权晶圆翻转装置及巨量转移设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆翻转装置，其特征在于，所述晶圆翻转装置包括晶圆载台、旋转驱动机构和激光测距模块； 所述晶圆载台的一侧具有晶圆固定区，所述晶圆载台能装载并固定晶圆于所述晶圆固定区； 所述旋转驱动机构与所述晶圆载台连接，用于驱动所述晶圆载台转动，以改变所述晶圆固定区的朝向； 所述激光测距模块安装在被所述旋转驱动机构驱动旋转的转动体上，用于测量所述晶圆载台上所装载的晶圆与目标基板之间的距离； 其中，通过设置激光测距模块，对晶圆载台所装载的晶圆和目标基板之间的距离进行测量，可以根据晶圆载台所装载的晶圆和目标基板之间的距离，及时对晶圆载台的翻转过程进行调整，避免晶圆载台和目标基板及目标基板的固定设备之间发生碰撞，防止因碰撞而产生破坏； 所述晶圆翻转装置还具有止挡部，所述转动体上具有被挡部，所述止挡部设置在所述被挡部的转动路径上； 所述被挡部为设置在所述转动体上的挡块； 所述转动体上设置有弧形槽，所述止挡部插接在所述弧形槽内，所述被挡部为所述弧形槽的端部； 所述晶圆翻转装置还包括光电传感器和感应器；所述感应器设置在转动体上，所述光电传感器设置在所述旋转驱动机构上的与所述感应器的转动路径对应的区域，且所述转动体处于所述感应器与光电传感器对应的位置时，所述止挡部与所述转动体之间的距离小于设定值。

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