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龙图腾网获悉清华大学深圳国际研究生院申请的专利一种多通道高精度套刻误差检测系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114578657B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210153172.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种多通道高精度套刻误差检测系统及方法是由李星辉;李一鸣;王晓浩设计研发完成，并于2022-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种多通道高精度套刻误差检测系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种多通道高精度套刻误差检测系统，用于测量被测芯片的套刻误差，包括：多通道光源模块、测量模块、载物台模块、成像模块和计算模块，其中所述被测芯片放置于所述载物台模块上，所述多通道光源模块能够分时投射不同通道的激光经过所述测量模块至所述被测芯片上，在所述被测芯片上反射后再次经过所述测量模块并成像于所述成像模块上，所述计算模块连接所述成像模块以根据所述成像模块上的成像数据计算所述被测芯片的套刻误差。本发明还公开了一种多通道高精度套刻误差检测方法和一种多通道高精度套刻校正方法。本发明能够提高套刻误差的检测精度。

本发明授权一种多通道高精度套刻误差检测系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种多通道高精度套刻误差检测系统，其特征在于，用于测量被测芯片的套刻误差，包括：多通道光源模块、测量模块、载物台模块、成像模块和计算模块，其中所述被测芯片放置于所述载物台模块上，所述多通道光源模块能够分时投射不同通道的激光经过所述测量模块至所述被测芯片上，在所述被测芯片上反射后再次经过所述测量模块并成像于所述成像模块上，所述计算模块连接所述成像模块以根据所述成像模块上的成像数据计算所述被测芯片的套刻误差，其中，所述多通道光源模块通过主动调整测量光源的投射模式，向所述被测芯片上的标记分时投射不同波长的激光； 所述多通道光源模块包括开关控制器和至少两个通道的激光光源，所述开关控制器连接并用于控制各个通道的激光光源进行分时投射激光，其中各个通道的激光光源分别用于投射不同波长的激光； 所述计算模块还用于根据多个通道的测量结果计算所述被测芯片的角度安装误差和聚焦距离，并根据所述角度安装误差和所述聚焦距离对所述载物台模块的位置进行校正； 其中，所述计算模块通过以下公式计算所述角度安装误差和所述聚焦距离H： 式中，表示被测芯片在理想状态下第一通道的激光光线与被测芯片的法线的夹角，表示被测芯片的角度安装误差，k为比例放大因子，H为被测芯片的聚焦距离，和分别为所述多通道光源模块投射第一通道的激光时沿被测芯片的法线对称的两条光线在所述成像模块的像面上的成像点与中心点之间的距离；表示被测芯片在理想状态下第二通道的激光光线与被测芯片的法线的夹角，和分别为所述多通道光源模块投射第二通道的激光时沿被测芯片的法线对称的两条光线在所述成像模块的像面上的成像点与中心点之间的距离。

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