株式会社斯库林集团堀越章获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利等离子产生装置及衬底处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114982383B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080093531.3，技术领域涉及：H05H1/24；该发明授权等离子产生装置及衬底处理装置是由堀越章;中村昭平;高辻茂;木村贵弘设计研发完成，并于2020-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子产生装置及衬底处理装置在说明书摘要公布了：本发明的等离子产生装置具备电极群与介电质。介电质具有第1主面、及与第1主面为相反侧的第2主面。电极群由介电质密封，包含在与第1主面平行的排列面内交替排列的至少一个第1电极及至少一个第2电极，使通过在第1电极21a与第2电极21b之间施加高频电压而产生的电场，作用于比第1主面3a更外侧。
本发明授权等离子产生装置及衬底处理装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子产生装置，配置于气体中，产生等离子，且包含： 介电质，具有第1主面、及与所述第1主面为相反侧的第2主面； 电极群，由所述介电质密封，包含在与所述第1主面平行的排列面内交替排列的至少一个第1电极及至少一个第2电极，使通过在所述第1电极与所述第2电极之间施加高频电压而产生的电场，作用于比所述第1主面更外侧；及 高频电源，与所述第1电极及所述第2电极电性连接，施加所述高频电压；且 所述高频电源将施加于所述第1电极与所述第2电极之间的所述高频电压的有效值及频率设定为电压为9kV~15kV、频率为12kHz~30kHz之间。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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