青岛歌尔智能传感器有限公司朱恩成获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛歌尔智能传感器有限公司申请的专利一种微机电系统传感器及电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115243170B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210590065.0，技术领域涉及：H04R19/00；该发明授权一种微机电系统传感器及电子设备是由朱恩成;陈磊;张强;王栋杰;丁凯文;胡洪设计研发完成，并于2022-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种微机电系统传感器及电子设备在说明书摘要公布了：本公开实施例公开了一种微机电系统传感器及电子设备。所述微机电系统传感器包括衬底层、第一电极层和支撑层，所述支撑层设置于所述第一电极层和所述衬底层之间，以使所述第一电极层与所述衬底层之间形成悬空间隙。本公开实施例的一个技术效果在于，通过设置所述支撑层于所述第一电极层和所述衬底层之间，以形成悬空间隙。在提高所述第一电极层和所述衬底层之间的距离的同时，也使减小了介质介电常数ε，从而增加了整个传感器有效电容的输出。
本发明授权一种微机电系统传感器及电子设备在权利要求书中公布了：1.一种微机电系统传感器，其特征在于，包括： 衬底层1和第一电极层2； 支撑层3，所述支撑层3设置于所述第一电极层2和所述衬底层1之间，以使所述第一电极层2与所述衬底层1之间形成悬空间隙4； 第二电极层5，所述第二电极层5设置于所述第一电极层2远离所述衬底层1的一侧并与所述第一电极层2相对； 所述第二电极层5包括第一质量块52、第二质量块53和支撑部54，所述支撑部54与所述第一电极层2相抵，所述第一质量块52和所述第二质量块53连接于所述支撑部54的两侧，所述第一质量块52的质量大于所述第二质量块53的质量； 其中，所述悬空间隙4经定向去除部分所述支撑层3形成。
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