湖南红太阳光电科技有限公司彭宜昌获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南红太阳光电科技有限公司申请的专利一种基于远程等离子的石墨舟干法清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223862459U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520091076.3，技术领域涉及：B08B7/00；该实用新型一种基于远程等离子的石墨舟干法清洗装置是由彭宜昌;李斯;陈臻阳;陈伟华设计研发完成，并于2025-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于远程等离子的石墨舟干法清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种基于远程等离子的石墨舟干法清洗装置，包括：等离子激发单元、清洗腔室、真空单元、集气腔室和匀气调控腔室，所述等离子激发单元和真空单元均设置在清洗腔室外侧；所述等离子激发单元通过等离子馈入管道与清洗腔室连接，待清洗的石墨舟放置在清洗腔室内，所述等离子激发单元激发的等离子气流通过等离子馈入管道涌入清洗腔室内；所述清洗腔室底部设有匀气调控腔室，所述匀气调控腔室端部设有集气腔室，所述集气腔室通过真空管道与真空单元连接，所述清洗腔室内的气体流经匀气调控腔室、集气腔室和真空单元后排出。本实用新型具有结构紧凑、操作便捷、等离子分布均匀性高且稳定性高等特点，显著提高了石墨舟的清洗质量。
本实用新型一种基于远程等离子的石墨舟干法清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种基于远程等离子的石墨舟干法清洗装置，其特征在于，包括：等离子激发单元1、清洗腔室3、真空单元4、集气腔室5和匀气调控腔室6，所述等离子激发单元1和真空单元4均设置在清洗腔室3外侧；所述等离子激发单元1通过等离子馈入管道2与清洗腔室3连接，待清洗的石墨舟7放置在清洗腔室3内，所述等离子激发单元1激发的等离子气流通过等离子馈入管道2涌入清洗腔室3内；所述清洗腔室3底部设有匀气调控腔室6，所述匀气调控腔室6端部设有集气腔室5，所述集气腔室5通过真空管道与真空单元4连接，所述清洗腔室3内的气体流经匀气调控腔室6、集气腔室5和真空单元4后排出。
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