江苏鲁汶仪器股份有限公司刘东祥获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种边缘进气装置及等离子体刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223871443U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423311982.4，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种边缘进气装置及等离子体刻蚀设备是由刘东祥;叶鹏;郭颂;陈冬冬;王海东;胡冬冬;石小丽;许开东设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种边缘进气装置及等离子体刻蚀设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种边缘进气装置及等离子体刻蚀设备，该边缘进气装置包括匀气部件、喷气部件和驱动部件；所述匀气部件具有匀气腔，所述匀气腔对应的侧壁开设有安装孔，所述喷气部件具有喷气通道，所述喷气部件的进气端位于所述匀气腔，所述喷气部件的出气端贯穿所述安装孔，所述喷气通道和所述匀气腔连通；所述驱动部件被配置为能够驱动所述喷气部件俯仰，以调节所述喷气通道相对于水平方向的倾斜角度。该边缘进气装置在应用时，能够提升反应腔室内部等离子体分布的均匀性。
本实用新型一种边缘进气装置及等离子体刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种边缘进气装置，其特征在于，所述边缘进气装置包括匀气部件1、喷气部件2和驱动部件3； 所述匀气部件1具有匀气腔1a，所述匀气腔1a对应的侧壁1b开设有安装孔1c，所述喷气部件2具有喷气通道2a，所述喷气部件2的进气端位于所述匀气腔1a，所述喷气部件2的出气端贯穿所述安装孔1c，所述喷气通道2a和所述匀气腔1a连通； 所述驱动部件3被配置为能够驱动所述喷气部件2俯仰，以调节所述喷气通道2a相对于水平方向的倾斜角度。
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