吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司陈婉祯获国家专利权
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龙图腾网获悉吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司申请的专利一种供液系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223872710U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520440485.X，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种供液系统是由陈婉祯;齐岩设计研发完成，并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种供液系统在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体加工液体供给领域，提供了一种供液系统，用于向加工设备供液，系统包括：第一液体储存机构，用于储存原液；第二液体储存机构，连接于第一液体储存机构和加工设备之间；真空发生器，连接于第二液体储存机构，用于利用负压吸除第二液体储存机构内部的气体，以及将原液从第一液体储存机构负压吸取至第二液体储存机构；供气机构，连接于第二液体储存机构，用于向第二液体储存机构中充入惰性气体，利用气压将原液从第二液体储存机构压入加工设备。方案中以真空发生器和供气机构替代传统的液泵，减少了系统布置的整体投入，同时消除原先采用的两级液泵及其配套管路，减少了对安装空间的占用。
本实用新型一种供液系统在权利要求书中公布了：1.一种供液系统，用于向加工设备供液，其特征在于，所述系统包括： 第一液体储存机构10，用于储存原液； 第二液体储存机构20，连接于所述第一液体储存机构10和所述加工设备之间； 真空发生器30，连接于所述第二液体储存机构20，用于利用负压吸除所述第二液体储存机构20内部的气体，以及将所述原液从所述第一液体储存机构10负压吸取至所述第二液体储存机构20； 供气机构40，连接于所述第二液体储存机构20，用于向所述第二液体储存机构20中充入惰性气体，利用气压将所述原液从所述第二液体储存机构20压入所述加工设备。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇泾祥路1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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