江苏汇成光电有限公司张伟获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏汇成光电有限公司申请的专利一种减少蚀刻药液气泡的蚀刻槽结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223872712U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520449207.0，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种减少蚀刻药液气泡的蚀刻槽结构是由张伟;王晨飞;翟松;翁茂源设计研发完成，并于2025-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种减少蚀刻药液气泡的蚀刻槽结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种减少蚀刻药液气泡的蚀刻槽结构。包括外槽墙壁和内槽墙壁，外槽墙壁与内槽墙壁之间为外槽，内槽墙壁内部的空间为内槽，外槽上方设有外槽导流板且外槽导流板与内槽墙壁连接，外槽导流板与内槽墙壁之间形成一个角度为锐角的夹角；内槽中设有内槽导流板且内槽导流板位于内槽入口上方，内槽导流板上设有通孔若干。外槽导流板以60°‑75°锐角引导气泡集中排出，内槽导流板通过大孔径交错通孔分散药液并延长药液路程，在保持药液流速0.8‑1.5ms的前提下，气泡减少率≥90％。且导流板采用不锈钢材质，不会被蚀刻药液腐蚀，适用于高精度半导体湿法蚀刻工艺的大规模工业化应用。
本实用新型一种减少蚀刻药液气泡的蚀刻槽结构在权利要求书中公布了：1.一种减少蚀刻药液气泡的蚀刻槽结构，包括外槽墙壁1和内槽墙壁2，外槽墙壁1与内槽墙壁2之间为外槽3，内槽墙壁2内部的空间为内槽4，其特征在于：外槽3上方设有外槽导流板5且外槽导流板5与内槽墙壁2连接，外槽导流板5与内槽墙壁2之间形成一个角度为锐角的夹角；内槽4中设有内槽导流板6且内槽导流板6位于内槽4入口上方，内槽导流板6上设有通孔61若干。
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