合肥欣奕华智能机器股份有限公司李凡获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥欣奕华智能机器股份有限公司申请的专利晶圆盒搬运装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223872725U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423180869.7,技术领域涉及:H10P72/30;该实用新型晶圆盒搬运装置是由李凡;杨海军;王传东;刘正勇设计研发完成,并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆盒搬运装置在说明书摘要公布了:本实用新型的技术方案提供一种晶圆盒搬运装置,包括框架以及在所述框架上设置的若干安装板,安装板用于承托晶圆盒,所述安装板与所述框架之间通过减震元件连接以使所述安装板能够沿承托面的法向浮动。晶圆盒搬运装置通过在框架与安装板之间设置减震元件,实现了对安装板在工作过程中减振的目的,从而能够较好地避免在晶圆盒的上下料、移转输送等过程中由于冲击所造成的晶圆不良损伤。
本实用新型晶圆盒搬运装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒搬运装置,其特征在于,包括框架1以及在所述框架1上设置的若干安装板2,安装板2用于承托晶圆盒W,所述安装板2与所述框架1之间通过减震元件3连接以使所述安装板2能够沿承托面的法向浮动。
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