西湖仪器(杭州)技术有限公司刘东立获国家专利权
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龙图腾网获悉西湖仪器(杭州)技术有限公司申请的专利一种晶圆加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223872735U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520855372.6，技术领域涉及：H10P72/30；该实用新型一种晶圆加工设备是由刘东立;俞小英;朱佳凯设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆加工设备。该晶圆加工设备包括：底座、输送组件、剥离组件、抓取组件以及存储组件；输送组件至少部分设置在底座上，基本沿加工设备的前后方向延伸；剥离组件设置在底座上，至少部分设置在输送组件的上方；抓取组件设置在底座上，至少部分设置在剥离组件的左侧或右侧；存储组件设置在底座上，围绕抓取组件设置，包括支架和若干设置在支架上的晶圆笼；每个晶圆笼对应存储一种晶圆。通过上述设置，加工设备能够自动对晶圆进行分类存储，减少了人力资源的损耗，提高了晶圆的分类存储的效率，降低了晶圆损伤或分类失误的可能性。
本实用新型一种晶圆加工设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工设备，其特征在于，包括： 底座11； 输送组件12，所述输送组件12至少部分设置在所述底座11上，基本沿所述加工设备的前后方向延伸； 剥离组件13，所述剥离组件13设置在所述底座11上，至少部分设置在所述输送组件12的上方； 抓取组件14，所述抓取组件14设置在所述底座11上，至少部分设置在所述剥离组件13的左侧或右侧； 存储组件15，所述存储组件15设置在所述底座11上，围绕所述抓取组件14设置，包括支架151和若干设置在所述支架151上的晶圆笼152；每个所述晶圆笼152可对应存储一种晶圆。
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