无锡芯智光精密科技有限公司王莹获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡芯智光精密科技有限公司申请的专利一种小基板加工辅助夹具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223872741U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520432985.9，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型一种小基板加工辅助夹具是由王莹设计研发完成，并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种小基板加工辅助夹具在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种小基板加工辅助夹具，涉及半导体集成电路加工辅助装置技术领域，旨在解决现有用于半导体生产的小基板结构，单个输送至设备进行加工，工作效率低耗时长，增加加工成本的问题，包括载盘，所述载盘上均有多组定位槽，所述定位槽放置有基板，所述载盘上设置有凹槽，所述载盘的上方活动连接有盖板，所述凹槽与所述盖板两者相互契合。
本实用新型一种小基板加工辅助夹具在权利要求书中公布了：1.一种小基板加工辅助夹具，包括载盘1，其特征在于，所述载盘1上均有多组定位槽2，所述定位槽2中设置有储气槽202，所述储气槽202的上方位置处安装有基板3，所述载盘1上设置有凹槽101，所述载盘1的上方活动连接有盖板4，所述凹槽101与所述盖板4两者相互契合，所述载盘1的设置有多组气路孔102，所述载盘1的左侧外接有氮氢混合气管5，所述盖板4安装在载盘1上之后盖板4与载盘1之间形成气路通道。
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