东京毅力科创株式会社鬼塚智也获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置和化学过滤器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223872749U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423205058.8，技术领域涉及：H10P76/00；该实用新型基板处理装置和化学过滤器是由鬼塚智也;待永高志;福丸圣也设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置和化学过滤器在说明书摘要公布了：本实用新型提供基板处理装置和化学过滤器。对含金属抗蚀剂膜进行稳定的图案形成。本公开的基板处理装置用于通过对形成于基板的含金属抗蚀剂膜进行曝光并显影而进行的图案形成，其中，在向所述基板处理装置内供给气体的流路设有化学过滤器，该化学过滤器包括朝向下游侧排列并分别去除所述气体中的不同的物质的多个过滤部，在所述多个过滤部中包括用于去除酸性物质的酸过滤部和用于去除碱性物质的碱过滤部。
本实用新型基板处理装置和化学过滤器在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其用于通过对形成于基板的含金属抗蚀剂膜进行曝光并显影而进行的图案形成，其特征在于， 在向所述基板处理装置内供给气体的流路设有化学过滤器，该化学过滤器包括朝向下游侧排列并分别去除所述气体中的不同的物质的多个过滤部， 在所述多个过滤部中包括用于去除酸性物质的酸过滤部和用于去除碱性物质的碱过滤部。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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