应用材料公司C·G·波特获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利使用振动数据测量晶片移动和放置的方法及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112449723B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980048311.6，技术领域涉及：H10P74/00；该发明授权使用振动数据测量晶片移动和放置的方法及设备是由C·G·波特;T·A·尼尔设计研发完成，并于2019-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用振动数据测量晶片移动和放置的方法及设备在说明书摘要公布了：本文中公开的实施例包括一种传感器晶片。在一实施例中，传感器晶片包括基板，其中基板包括：第一表面；第二表面，所述第二表面与第一表面相对；以及边缘表面，所述边缘表面位于第一表面和第二表面之间。在一实施例中，传感器晶片进一步包括多个传感器区域，所述多个传感器区域沿第一表面形成，其中传感器区域包括自参考电容传感器。在一实施例中，传感器晶片进一步包括振动传感器，所述振动传感器嵌入基板内。
本发明授权使用振动数据测量晶片移动和放置的方法及设备在权利要求书中公布了：1.一种传感器晶片，包括： 基板，其中所述基板包括：第一表面；第二表面，所述第二表面与所述第一表面相对；以及边缘表面，所述边缘表面在所述第一表面和所述第二表面之间； 多个传感器区域，所述多个传感器区域沿所述第一表面形成，其中所述传感器区域包括多个自参考电容传感器；以及 振动传感器，所述振动传感器嵌入所述基板内， 其中所述多个传感器区域中的每一个从所述基板的中心部分径向延伸并向外延伸到所述基板的所述边缘表面， 其中所述振动传感器测量在处理腔室中所述传感器晶片通过多个杆而被升高和或降低时，所述传感器晶片的振动，且 其中当检测到所述传感器晶片在X-Y平面中的移动时，将来自所述振动传感器的振动信息存储为阈值，并且将后续测试中的所述振动信息与所述阈值进行比较以确定所述传感器晶片是否在所述X-Y平面中移动。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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