北京北方华创微电子装备有限公司吴启东获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利基座接地检测装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114355244B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111646800.7，技术领域涉及：G01R31/52；该发明授权基座接地检测装置和方法是由吴启东设计研发完成，并于2021-12-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本基座接地检测装置和方法在说明书摘要公布了：本申请涉及基座接地检测装置和方法。通过电压信号采集单元采集基座的电压信号，由电压检测单元根据所述电压信号和预设电压信号以确定是否将指示基座接地的第一信号作为输出信号，在执行工艺时，控制单元一旦接收到该第一信号则立即指示半导体设备停止执行工艺并发出报警信号，从而可及时发现基座与腔室壁或内衬短接等导致的接地情况，避免发生晶圆被电流击穿进而严重影响晶圆的电学性能、影响产品质量的事故。
本发明授权基座接地检测装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种基座接地检测装置，用于半导体设备中，所述基座设置于所述半导体设备中用于进行半导体工艺的工艺腔室内，且所述基座用于承载待加工的晶圆，其特征在于，所述装置包括电压信号采集单元、电压检测单元和控制单元；其中： 所述电压信号采集单元用于采集基座的电压信号； 所述电压检测单元用于接收来自所述电压信号采集单元的所述电压信号，并根据所述电压信号和预设电压信号以确定是否将第一信号作为输出信号发送给所述控制单元，所述第一信号指示所述基座接地； 所述控制单元用于在所述半导体设备执行工艺过程中接收到所述第一信号时，指示所述半导体设备停止执行工艺并发出报警信号； 所述装置还包括加压单元，所述加压单元用于在所述基座无电压信号的情况下，向所述电压检测单元提供一基准电压信号，所述电压检测单元用于将所述基准电压信号与所述预设电压信号进行对比，确定所述基准电压信号的绝对值大于所述预设电压信号时将第二信号作为所述输出信号，所述第二信号指示所述基座未接地。
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