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龙图腾网获悉合肥先微半导体材料有限公司申请的专利一种锗烷混合气的乳化混合系统及混合工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121266391B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511844582.6，技术领域涉及：B01F23/10；该发明授权一种锗烷混合气的乳化混合系统及混合工艺是由董宜忠设计研发完成，并于2025-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种锗烷混合气的乳化混合系统及混合工艺在说明书摘要公布了：本发明涉及锗烷类特种气体的乳化混合技术领域，具体为一种锗烷混合气的乳化混合系统及混合工艺，包括原料预处理、多级乳化混合、超临界均质、精密计量、惰性气体保护、在线监测及自适应调节单元；原料预处理单元含13X‑APG复合分子筛脱水器与梯度吸附过滤组件，脱水精度≤0.05ppm；多级乳化混合单元为三级串并联结构，一级为超声‑微波‑等离子体协同乳化器；超临界均质单元含双路纳米分散增强剂注入组件，注入氟碳表面活性剂与氨基化石墨烯量子点复合体系。本系统通过多级协同混合与超临界均质提升混合均匀性，深度预处理保障纯度；自适应调节与多维度监测确保稳定性，能耗低且操作安全，适配半导体行业规模化生产需求。

本发明授权一种锗烷混合气的乳化混合系统及混合工艺在权利要求书中公布了：1.一种锗烷混合气的乳化混合系统，其特征在于，包括原料预处理单元、多级乳化混合单元、超临界均质单元、精密计量单元、惰性气体保护单元、在线监测单元及自适应调节单元； 所述原料预处理单元含13X-APG复合分子筛脱水器与梯度吸附过滤组件，所述13X-APG为13X与氨基丙基三乙氧基硅烷接枝分子筛按3:1复合，所述过滤组件依次为玻璃纤维滤膜、活性炭-碳纳米管复合吸附层、ZIF-8金属有机框架材料吸附层；所述多级乳化混合单元采用三级串联-并联复合结构，一级为超声-微波-等离子体协同乳化器，配备钛合金变幅杆与螺旋形导流腔；二级为高压微通道混合器，内置可拆卸式静态混合元件；三级为双腔式磁力搅拌混合器，桨叶采用锚式-涡轮-螺带组合结构，内壁设3组环形扰流凸台；所述超临界均质单元工作压力20-30MPa，温度35-50℃，含双路纳米分散增强剂注入组件，主路注入氟碳表面活性剂FC-4430与氨基化石墨烯量子点的复合体系，辅路注入全氟聚醚磷酸酯，形成双电层稳定结构；所述自适应调节单元含工业级GPU与神经网络算法模块，接收在线监测数据后动态调整各单元参数，响应时间≤0.3s，调节精度达±0.02%。

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