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上海拜安传感技术有限公司刘昌霞获国家专利权

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龙图腾网获悉上海拜安传感技术有限公司申请的专利用于MEMS光学传感器宽频高分辨力信号解调的全光谱分析仪获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121275151B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511841136.X,技术领域涉及:G01J3/45;该发明授权用于MEMS光学传感器宽频高分辨力信号解调的全光谱分析仪是由刘昌霞;钟少龙;李健;马宏坤;杨浩赟设计研发完成,并于2025-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

用于MEMS光学传感器宽频高分辨力信号解调的全光谱分析仪在说明书摘要公布了:一种用于MEMS光学传感器宽频高分辨力信号解调的全光谱分析仪,其包括:共用超平坦宽带光源,被设置有第一激光器、以及将来自所述第一激光器的光在给定宽带内进行饱和放大的第二激光器;第一耦合器,被设置成将来自所述共用超平坦宽带光源的光分成两路或多路;波长扫描解调装置;激光干涉相位解调装置;自补偿装置。此外,本公开还提出了一种基于上述分析仪的自补偿方法。本公开的全光谱分析仪及对应的自补偿方法,旨在提升多光束干涉型和双光束干涉型MEMS光学传感器的宽频响应能力和测量分辨力。

本发明授权用于MEMS光学传感器宽频高分辨力信号解调的全光谱分析仪在权利要求书中公布了:1.一种用于MEMS光学传感器宽频高分辨力信号解调的全光谱分析仪,其特征在于,包括: 共用超平坦宽带光源,被设置有第一激光器、以及将来自所述第一激光器的光在给定宽带内进行饱和放大的第二激光器; 第一耦合器,被设置成将来自所述共用超平坦宽带光源的光分成两路或多路; 波长扫描解调装置,被设置成将来自所述第一耦合器的一路光调制成线性扫频光信号并传输至微腔多光束干涉型MEMS光学传感器上,对所述微腔多光束干涉型MEMS光学传感器反射的光谱信号通过光电转换生成对应的电信号以供数据采集与处理从而获取所述微腔多光束干涉型MEMS光学传感器的波长值及对应的解算出的被测物理量; 激光干涉相位解调装置,被设置成将来自所述第一耦合器的另一路光经由分光后传输至微腔双光束干涉型MEMS光学传感器上,对所述微腔双光束干涉型MEMS光学传感器反射的光谱信号选取特定的三个波长或者四个波长再通过光电转换生成对应的电信号以供数据采集与处理从而获取所述微腔双光束干涉型MEMS光学传感器的相位值及对应的解算出的被测物理量; 自补偿装置,被设置成将所述波长扫描解调装置的采集数据时钟与所述激光干涉相位解调装置的采集数据时钟同步,并且将两种解调装置所获取的所获取的波长值及对应的解算出的被测物理量来补偿所获取的相位值及对应的解算出的被测物理量,或者将所获取的波长值及对应的解算出的被测物理量与所获取的相位值及对应的解算出的被测物理量相互修正。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海拜安传感技术有限公司,其通讯地址为:201201 上海市浦东新区卡园二路108号1幢;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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