泉意光罩光电科技(济南)有限公司亓晓峰获国家专利权
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龙图腾网获悉泉意光罩光电科技(济南)有限公司申请的专利一种清针机构及原子力显微镜获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223875688U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423073258.2,技术领域涉及:B08B5/02;该实用新型一种清针机构及原子力显微镜是由亓晓峰;王梅侠;刘本杰;段俊贺设计研发完成,并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种清针机构及原子力显微镜在说明书摘要公布了:本申请提供一种清针机构及原子力显微镜,涉及探针清洁技术领域。该清针机构包括:机械臂和吹吸室,机械臂用于将待清洗探针转移至吹吸室内的预设位置,吹吸室内设有吹吸组件,吹吸组件用于向待清洗探针吹气,以去除待清洗探针上的污染物。该清针机构中,使用机械臂将待清洗探针转移至吹吸室内,再利用吹吸组件向待清洗探针吹气,以吹除黏附在待清洗探针上的污染物。在清洗时,探针完全位于吹吸组件吹出的气流内,因此,该清针机构能够快速去除探针表面的污染物,且不会对探针造成损伤,对扫描探针和修复探针均能够进行清洗作业,且能够去除探针表面的顽固污染物以及顶部的污染物。
本实用新型一种清针机构及原子力显微镜在权利要求书中公布了:1.一种清针机构,其特征在于,包括:机械臂和吹吸室,所述机械臂用于将待清洗探针转移至所述吹吸室内的预设位置,所述吹吸室内设有吹吸组件,所述吹吸组件用于向所述待清洗探针吹气,以去除所述待清洗探针上的污染物; 所述吹吸组件固定在所述吹吸室内,所述机械臂能够带动所述待清洗探针在所述吹吸室内旋转,以使所述吹吸组件能够对所述待清洗探针进行360°吹气; 还包括控制器,所述控制器与所述吹吸组件电连接,所述控制器用于控制所述吹吸组件的吹气。
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