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东莞汇乐技术股份有限公司王银安获国家专利权

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龙图腾网获悉东莞汇乐技术股份有限公司申请的专利一种半导体生产用清洁装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223875690U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520064665.2,技术领域涉及:B08B5/02;该实用新型一种半导体生产用清洁装置是由王银安;李海燕;楚世赟;李怀俊;许文棋;姚星;蔡俊炜;袁伟杰;张科威;黄文彬;迟浩蓬;陈晓晨设计研发完成,并于2025-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体生产用清洁装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体生产用清洁装置,包括底框,底框的四个边角设有向上延伸竖立的立柱,立柱远离底框的一端设有上框体,底框、立柱与上框体组成安装框架;底框架上设有向内延伸的三条支撑短臂,支撑短臂向内的悬空头端开设有朝下的定位槽;安装框架中设有除尘组件,除尘组件的上面设有移动结构,移动结构的上面设有气压组件,除尘组件、移动结构与气压组件设置在安装框架中;除尘组件包括除尘头腔体,除尘头腔体的底部设有底板,除尘头腔体的顶端设有框体密封盖;除尘头腔体内的中部设有由底板上向延伸的正压腔。本申请采用非接触式的除尘头进行清理,提高清洁效率,提升设备自动化程度。

本实用新型一种半导体生产用清洁装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体生产用清洁装置,包括:底框11,所述底框11的四个边角设有向上延伸竖立的立柱12,立柱12远离底框11的一端设有上框体13,底框11、立柱12与上框体13组成安装框架;其特征在于,所述底框11架上设有向内延伸的三条支撑短臂16,支撑短臂16向内的悬空头端开设有朝下的定位槽17; 安装框架中设有除尘组件20,除尘组件20的上面设有移动结构40,移动结构40的上面设有气压组件60,除尘组件20、移动结构40与气压组件60设置在安装框架中; 除尘组件20包括除尘头腔体21,除尘头腔体21的底部设有底板37,除尘头腔体21的顶端设有框体密封盖26; 除尘头腔体21内的中部设有由底板37上向延伸的正压腔23,正压腔23的顶端距离除尘头腔体21的顶端设有分离间距; 正压腔23的两侧分别设有负压腔22,两侧的负压腔22设置在除尘头腔体21中,两侧的负压腔22贯通连接; 安装框架内的中部设有用于挂载的横载板58,横载板58一端固定设置在相邻的两条立柱12的中部,横载板58远离立柱12的另一端固设有与之垂直的竖立板59,横载板58上设有移动结构40; 移动结构40包括气件座46,气件座46上设有气压组件60;气压组件60包括分压仓61,分压仓61中设有并排的正压桶62与负压桶63,正压桶62中设有正压风机79,负压桶63中设有负压风机78。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人东莞汇乐技术股份有限公司,其通讯地址为:523000 广东省东莞市松山湖园区信息路5号1栋1008室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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